网友提问:
福晶科技(002222)草,光刻机搞定了!
中国研制成功世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备2018年11月29日 16:58 来源:中国新闻网
网友回复
爱江山1022a:
这一世界首台分辩力最高的紫外超分辩光刻配备是根据外表等离子体超衍射研制而成,它打破了传统光学光刻分辩力受限于光源波长及镜头数值孔径的传统道路格式,构成了一条全新的超衍射纳米光刻从原理、配备到工艺的技能道路,具有彻底自主知识产权,为超资料/超外表、第三代光学器材、广义芯片等革新性战略范畴的跨越式开展供给了制作东西。请关注激光材料龙头福晶科技002222
土瘪豪:
光刻机有福晶的贡献吗?
寒梅艳:
有早上50了。