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中国中冶(601618)极紫外光刻(Extreme Ultraviolet Lithography)，常
极紫外光刻(Extreme Ultraviolet Lithography)，常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的软x 射线。 极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线。
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炎黄两帝：
网易首页 ＞ 网易手机 ＞ 正文交友ASML供应商突遭火灾 明年初EUV光刻机交货将延期2018-12-04 09:51:17 来源: 超能网(广州) 举报125易信微信QQ空间微博更多最近中科院研发成功紫外超分辨光刻机的消息刷屏了，使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm，这个技术水平在光刻机中是很了不起的，做到了SP表面等离子体超衍射光刻机的极致，而且价格只有1000-2000万元，不过中科院的SP光刻机并不能取代ASML的光刻机，二者的用途并不一样，晶圆厂制造半导体芯片依然离不开ASML的光刻机。今天台积电、三星等公司要心惊一下了，因为ASML光刻机交货遇到问题了，ASML元件供应商Prodrive突遭大火，导致部分生产线及库存被毁，将影响2019年初ASML光刻机的交付日期，不过今年内的ASML光刻机交付不受影响。来自路透社的消息称，ASML周一宣布其供应商Prodrive上周六遭遇火灾，摧毁了Prodrive公司部分生产线及库存，ASML公司正在寻找其他供应来源，并帮助Prodrive尽快重启生产。ASML首席执行官兼总裁Peter Wennink在一份声明中表示：“我们希望Prodrive的管理层和员工在恢复生产过程中一切顺利，并尽可能地为他们提供支持。”供应商遭遇火灾导致产能及库存受损，这对ASML的光刻机交付也会产生影响，ASML公司表示今年内的光刻机交付不会有任何变化，需要几周时间来评估这次危机对他们业务的整体影响。随后ASML更新的声明中强调虽然2018年的光刻机订单交付没问题，但是2019年初的ASML光刻机会延期交付，但延期多久上尚无消息。根据ASML公司早前财报中的消息，Q3季度ASML出货了5台EUV光刻机（1台ASML的EUV光刻机售价在上亿美金），上个季度出货7台EUV光刻机，预计Q4季度出货6台EUV光刻机，全年出货的数量将达到18台，而2019年EUV光刻机预计出货数量达到30台。ASML的EUV光刻机大客户除了三星、台积电及英特尔之外，国内的中芯国际SMIC今年也订购了一台EUV光刻机，预计会在明年初交付，不过中芯国际订购的EUV光刻机主要用于技术研发，短时间内并没有量产EUV工艺的需求，延期交付对中芯国际的影响并不大。相比较而言，2019年初延期交付的EUV光刻机对台积电、三星的影响更大，不过这也取决于ASML受到Prodrive火灾的影响有多大，目前具体的灾害损失还没有结果。
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ASML供应商突遭火灾 明年初EUV光刻机交货将延期
2018-12-04 09:51:17 来源: 超能网(广州) 举报
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最近中科院研发成功紫外超分辨光刻机的消息刷屏了，使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm，这个技术水平在光刻机中是很了不起的，做到了SP表面等离子体超衍射光刻机的极致，而且价格只有1000-2000万元，不过中科院的SP光刻机并不能取代ASML的光刻机，二者的用途并不一样，晶圆厂制造半导体芯片依然离不开ASML的光刻机。
今天台积电、三星等公司要心惊一下了，因为ASML光...
炎黄两帝：
让我们再看看新闻中的一句话：“ASML的EUV光刻机使用的13.5纳米的极紫外光源，价格高达3000万元，还要在真空下使用。而我们使用的365纳米紫外光的汞灯，只要几万元一只。我们整机价格在百万元级到千万元级，加工能力介于深紫外级和极紫外级之间，让很多用户大喜过望。”这段话出自我国“超分辨光刻装备研制”项目副总设计师胡松之口，可见我国光刻机所使用的光源和EUV光刻机的光源完全就不一样。成本控制其中有两个原因：一方面受限于成本；胡松设计师说的很清楚，我国光刻机整机价格才百万元到千万元级别。相比EUV光刻机来说，一个光源就能买我国这个光刻机好几台了。另一方面，受限于我国实际的科研需求。如前言所说，我国光刻机的主要目的，还是为了解决高端探测器、传感器之类的需求，是为了推进相关领域科研及高精尖技术的继续进步，原本也就没准备解决民用芯片问题。所以，如果看到了这里，相信大家也就能理解了，我国的光刻机和EUV光刻机之类的东西，定位不一样，光源也不同，就如同毛笔和圆珠笔，同样是笔，但是各有所长。我国最亮极紫外光源研究成功时，央视的报道另外，给大家免费奉送一个小知识：2017年，我国中科院已经研制成功了世界上“最亮的极紫外光源”，并且可以应用在光刻领域。如今再配合上光刻机技术，两相融合之下，其实制造高精度的CPU应该已经不远了（高精度CPU不一定就是高端CPU，这个需要注意）。下面引用当时新闻报道里中科院副院长王恩哥的原话：中科院副院长王恩哥说，这是中国科学院乃至中国又一项具有极高显示度的重大科技成果，装置中90%%的仪器设备均由中国自主研发，标志着中国在这一领域占据了世界领先地位，将大大促进中国在能源、光学、物理、生物、材料、大气雾霾、光刻等多个重要领域研究水平的提升。注意到最后一句小编加粗的部分没有？连起来就是：“将大大促进中国在光刻等多个重要领域研究水平的提升”。光源和高精度光刻机技术都已完备，还怕我国将来制造不出来同级别cpu这样的东西？就算将来我国造出来的产品不高端，最起码也不会低端吧？
让我们再看看新闻中的一句话：
“ASML的EUV光刻机使用的13.5纳米的极紫外光源，价格高达3000万元，还要在真空下使用。而我们使用的365纳米紫外光的汞灯，只要几万元一只。我们整机价格在百万元级到千万元级，加工能力介于深紫外级和极紫外级之间，让很多用户大喜过望。”
这段话出自我国“超分辨光刻装备研制”项目副总设计师胡松之口，可见我国光刻机所使用的光源和EUV光刻机的光源完全就不一样。
成本控制
其中有两个原因：
一方面受限于成本；胡松设计师说的很清楚，我国光刻机整机价格才百万元到千万元级别。相比EUV光刻机来说，一个光源就能买我国这个光刻机好几台了。
另一方面，受限于我国实际的科研需求。...
炎黄两帝：
二氧化碳激光器，可称"隐身人"，因为它发出的激光波长为10.6 微米，"身"处红外区，肉眼不能觉察，它的工作方式有连续、脉冲两种。连续方式产生的激光功率可达20 千瓦以上。脉冲方式产生波长10.6 微米的激光也是最强大的一种激光。人们已用它来"打"出原子核中的中子。二氧化碳激光器的出现是激光发展中的重大进展，也是光武器和核聚变研究中的重大成果。最普通的二氧化碳激光器是一支长1 米左右的放电管。它产生的激光是看不见的，在砖上足以把砖头烧到发出耀眼的白光。二氧化碳激光于1964年首次运用其波长为10.6m。
炎黄两帝：
因为这是一种非常有效率的激光，作为商业模型来说其转换效率达到10%，所以二氧化碳激光广泛用于激光切割，焊接，钻孔和表面处理。作为商业应用激光可达45千瓦，这是目前最强的物质处理激光。折叠编辑本段原理二氧化碳激光是一种分子激光。主要的物质是二氧化碳分子。它可以表现多种能量状态这要视其震动和旋转的形态而定。基本的能量网状见图1。二氧化碳里的混合气体是由于电子释放而造成的低压气体(通常30-50托)形成的等离子(电浆)。如麦克斯韦-波尔兹曼分布定律所说，在等离子里，分子呈现多种兴奋状态。一些会呈现高能态(00o1)其表现为不对称摆动状态。当与空心墙碰撞或者自然散发，这种分子也会偶然的丢失能量。通过自然散发这种高能状态会下降到对称摆动形态(10o0)以及放射出可能传播到任何方向的光子(一种波长10.6m的光束)。偶然的，这种光子的一种会沿着光轴的腔向下传播也将在共鸣镜里摆动。图1简单的二氧化碳分子能量水平图图1简单的二氧化碳分子能量水平图二氧化碳激光器是以CO2气体作为工作物质的气体激光器。放电管通常是由玻璃或石英材料制成，里面充以CO2气体和其他辅助气体(主要是氦气和氮气，一般还有少量的氢或氙气);电极一般是镍制空心圆筒;谐振腔的一端是镀金的全反射镜，另一端是用锗或砷化镓磨制的部分反射镜。当在电极上加高电压(一般是直流的或低频交流的)，放电管中产生辉光放电，锗镜一端就有激光输出，其波长为10.6微米附近的中红外波段;一般较好的管子。一米长左右的放电区可得到连续输出功率40~60瓦。CO2激光器是一种比较重要的气体激光器。这是因为它具有一些比较突出的优点:
因为这是一种非常有效率的激光，作为商业模型来说其转换效率达到10%，所以二氧化碳激光广泛用于激光切割，焊接，钻孔和表面处理。作为商业应用激光可达45千瓦，这是目前最强的物质处理激光。
折叠编辑本段原理
二氧化碳激光是一种分子激光。主要的物质是二氧化碳分子。它可以表现多种能量状态这要视其震动和旋转的形态而定。基本的能量网状见图1。二氧化碳里的混合气体是由于电子释放而造成的低压气体(通常30-50托)形成的等离子(电浆)。如麦克斯韦-波尔兹曼分布定律所说，在等离子里，分子呈现多种兴奋状态。一些会呈现高能态(00o1)其表现为不对称摆动状态。当与空心墙碰撞或者自然散发，这种分子也会偶然的丢失能量。通...
炎黄两帝：
它有比较大的功率和比较高的能量转换效率。一般的闭管CO2激光器可有几十瓦的连续输出功率，这远远超过了其他的气体激光器，横向流动式的电激励CO2激光器则可有几十万瓦的连续输出。此外横向大气压CO2激光器，从脉冲输出的能量和功率上也都达到了较高水平，可与固体激光器媲美。CO2激光器的能量转换效率可达30~40%，这也超过了一般的气体激光器。折叠第二它是利用CO2分子的振动-转动能级间的跃迁的，有比较丰富的谱线，在10微米附近有几十条谱线的激光输出。近年来发现的高气压CO2激光器，甚至可做到从9~10微米间连续可调谐的输出。折叠第三它的输出波段正好是大气窗口(即大气对这个波长的透过率较高)。除此之外，它也具有输出光束的光学质量高，相干性好，线宽窄，工作稳定等优点。因此它在国民经济和国防上都有许多应用，如应用于加工(焊接、切割、打孔等)，通讯、雷达、化学分析，激光诱发化学反应，外科手术等方面。折叠编辑本段军事应用应用CO2激光相干成像雷达进行机载反坦克导弹的精确制导的研究，是1977年由麻省理工学院的林肯实验室开始的，实验室于1981年研制成功并进行了演示试验。早在20世纪70年代末，美国国防先进技术研究计划局(Defence Advanced Research Projects Agency)就决定把CO2激光相干成像雷达作为第二代巡航导弹制导系统的主攻方向，现已到了技术基本成熟阶段。DARPA和美国空军航空系统分部主持的巡航导弹先进制导(CMAG，Cruise Missile Advanced Guidence)预研计划，1977~1989年完成了研究计划，并完成了飞行演示实验，进一步研制了CO2激光主动成像雷达导引头工程样机。目前CMAG技术已应用在空中发射的先进战略巡航导弹AGM-129A上，使其目标精度由原来的40m提高到3m，提高一个数量级。美国前麦道公司为空军研制的一种全天候CO2激光相干成像雷达，于1988年进行了样机演示，预计装在战斧(Tomahawk)改型巡航导弹上。
它有比较大的功率和比较高的能量转换效率。一般的闭管CO2激光器可有几十瓦的连续输出功率，这远远超过了其他的气体激光器，横向流动式的电激励CO2激光器则可有几十万瓦的连续输出。此外横向大气压CO2激光器，从脉冲输出的能量和功率上也都达到了较高水平，可与固体激光器媲美。CO2激光器的能量转换效率可达30~40%，这也超过了一般的气体激光器。
折叠第二
它是利用CO2分子的振动-转动能级间的跃迁的，有比较丰富的谱线，在10微米附近有几十条谱线的激光输出。近年来发现的高气压CO2激光器，甚至可做到从9~10微米间连续可调谐的输出。
折叠第三
它的输出波段正好是大气窗口(即大气对这个波长的透过率较高)。...
炎黄两帝：
钪的第三件法宝
他的第三件法宝叫做射线源，这个法宝自己就能大放光明，不过这种光亮我们肉眼接收不到，是高能的光子流。我们平常从矿物中提炼出来的是45Sc，这是钪的唯一一种天然同位素，每一个45Sc的原子核中有21个质子和24个中子。倘若我们像把猴子放到太上老君的炼丹炉中炼上七七四十九天一样将钪放在核反应堆中，让他吸收中子辐射，原子核中多一个中子的46Sc就诞生了。46Sc这种人工放射性同位素可以当作射线源或者示踪原子，还可以用来对恶性肿瘤进行放射治疗。还有像钇镓钪石榴石激光器，氟化钪玻璃红外光导纤维，电视机上钪涂层的阴极射线管之类的用途简直不知凡几，看来钪生来就和光明有缘呢。
炎黄两帝：
在无机化学里，掺杂是一个非常重要的手段。在一个作为基体的晶体结构中掺入少量的其他化合物，因为被掺杂物质在化学性质上和原有基体的不同，晶格结构会出现各种各样的变化和缺陷，从而或者提升原有基体的性质，或者增添原来不具有的活性。比如大家最耳熟能详的P型和N型半导体原料，就是分别在导通能力很差的单晶硅里面，添加了因为缺少价电子导致空穴的硼，和因为富余价电子而产生自由电子的磷获得的。我们的钪也是一个重要的掺杂原料，很多材料就是因为掺入了钪获得了意料之外的性质。单质形式的钪，已经被大量应用于铝合金的掺杂。在铝中只要加入千分之几的钪就会生成Al?Sc新相，对铝合金起变质作用，使合金的结构和性能发生明显变化。加入0.2%~0.4%的Sc（这个比例也真的和家里炒菜放盐的比例差不多，只需要那么一点）可使合金的再结晶温度提高150~200℃，且高温强度、结构稳定性、焊接性能和抗腐蚀性能均明显提高，并可避免高温下长期工作时易产生的脆化现象。高强高韧铝合金、新型高强耐蚀可焊铝合金、新型高温铝合金、高强度抗中子辐照用铝合金等，在航天、航空、舰船、核反应堆以及轻型汽车和高速列车等方面具有非常诱人的开发前景。钪也是铁的优良改化剂，少量钪可显著提高铸铁的强度和硬度。另外，钪还可用作高温钨和铬合金的添加剂。当然，除了为他人做嫁衣裳之外，因为钪具有较高熔点，而其密度却和铝接近，也被应用在钪钛合金和钪镁合金这样的高熔点轻质合金上，但是这样的稀罕东西恐怕只有航天飞机和火箭上才舍得用了，要是拿来做自行车架子，这个价值摆出去恐怕一天能被偷上二三十次。
在无机化学里，掺杂是一个非常重要的手段。在一个作为基体的晶体结构中掺入少量的其他化合物，因为被掺杂物质在化学性质上和原有基体的不同，晶格结构会出现各种各样的变化和缺陷，从而或者提升原有基体的性质，或者增添原来不具有的活性。比如大家最耳熟能详的P型和N型半导体原料，就是分别在导通能力很差的单晶硅里面，添加了因为缺少价电子导致空穴的硼，和因为富余价电子而产生自由电子的磷获得的。我们的钪也是一个重要的掺杂原料，很多材料就是因为掺入了钪获得了意料之外的性质。
单质形式的钪，已经被大量应用于铝合金的掺杂。在铝中只要加入千分之几的钪就会生成Al?Sc新相，对铝合金起变质作用，使合金的结构和性能发生明显变化...
炎黄两帝：
单质的钪一般应用于合金，而钪的氧化物也是物以类聚地在陶瓷材料上面起到了重要的作用。像可以用作固体氧化物燃料电池电极材料的四方相氧化锆陶瓷材料有一种很特别的性质，在这种电解质的电导会随着温度和环境中氧的浓度增高而增大。但是这种陶瓷材料的晶体结构本身不能稳定存在，不具有工业价值；必须要在其中掺杂一些能够将这种结构固定下来的物质才能够保持原有的性质。掺入6~10%的氧化钪就好像混凝土结构一样，让氧化锆能够稳定在四方形的晶格上。还有像给高强度，耐高温的工程陶瓷材料氮化硅做增密剂和稳定剂。氧化钪作为增密剂，可以在细小颗粒的边缘生成难熔相Sc2Si2O7，从而减小工程陶瓷的高温变形性，与添加其它氧化物相比能更好改善氮化硅的高温机械性能。在高温反应堆核燃料中UO?加入少量Sc?O?可避免因UO?向U3O8转化发生的晶格转变、体积增大和出现裂纹。同样，在镍碱电池中加入2.5%~25%的钪，会增加使用寿命。在农业上可以对玉米 甜菜 豌豆 小麦 向日葵等种子做硫酸钪（浓度一般为10-3~10-8mol/L 不同的植物会有所不同）处理，已取得促进发芽的实际效果，8小时后根和芽的干燥重量和幼苗相比，分别增加37%和78%，但原因机理尚在研究中。在有机化学上钪也并非默默无闻，不过在有机反应里面钪的作用虽然同样是一种调料，却和在无机材料里面用于掺杂不同，而是被作为催化剂使用。Sc2O3可用于乙醇或异丙醇脱水和脱氧、乙酸分解，由CO和H?制乙烯等等中。含Sc2O3的Pt-Al催化剂更是在石油化工中作为重油氢化提净，精炼流程的重要催化剂。而在诸如异丙苯催化裂化反应中，Sc-Y沸石催化剂比硅酸铝的活性大1000倍；和一些传统的催化剂比起来，钪催化剂的发展前景将是很光明的。从尼尔森注意到原子量数据的亏欠到今天，钪进入人们的视野不过一百年二十多年，却差不多坐了一百年的冷板凳，直到上个世纪后期材料科学的蓬勃发展才给他带来了生机。到今天，连同钪在内的稀土元素都已经成为了材料科学中炙手可热的明星，在成千上万的体系中发挥着千变万化的作用，每天都在给我们的生活带来多一点的便利，创造的经济价值更是难以计量。按阴阳五行的说法，土生金，其信然乎？折叠对人影响钪对于人来说是不是必需元素，目前尚无定论。人体中钪微量存在。怀疑其有致癌性。钪容易与8-羟基喹啉形成络合物这种络合物的形成可以用于对钪的分析。用中子放射性分析法可以测定ng/g以下的钪定量。
单质的钪一般应用于合金，而钪的氧化物也是物以类聚地在陶瓷材料上面起到了重要的作用。像可以用作固体氧化物燃料电池电极材料的四方相氧化锆陶瓷材料有一种很特别的性质，在这种电解质的电导会随着温度和环境中氧的浓度增高而增大。但是这种陶瓷材料的晶体结构本身不能稳定存在，不具有工业价值；必须要在其中掺杂一些能够将这种结构固定下来的物质才能够保持原有的性质。掺入6~10%的氧化钪就好像混凝土结构一样，让氧化锆能够稳定在四方形的晶格上。还有像给高强度，耐高温的工程陶瓷材料氮化硅做增密剂和稳定剂。氧化钪作为增密剂，可以在细小颗粒的边缘生成难熔相Sc2Si2O7，从而减小工程陶瓷的高温变形性，与添加其它氧化物相比...